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    Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器：半導體制造中的創(chuàng)新解決方案

    發(fā)布時間： 2025-05-06　　點擊次數(shù)： 14次
    　　在半導體制造和納米技術領域，對材料的純凈度有要求。微量金屬污染物的存在可能會嚴重影響產(chǎn)品的性能和可靠性。為此，日本Nasgiken公司推出了SC-9200微量金屬污染物回收器，專為硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物收集而設計，以提高分析效率和準確性。
     
    　　設備功能
     
    　　SC-9200微量金屬污染物回收器能夠收集附著在硅晶片表面和側(cè)面的微量金屬污染物，非常適合每天分析5至10個晶圓的需求。該設備具備自動清洗盛裝收集液體的容器的功能，降低人為污染的風險，并減少工作人員之間分析準確性的差異。此外，該設備還取得了晶圓側(cè)面斜面復原以及晶圓表面親水性恢復技術。
     
    　　技術規(guī)格
     
    　　根據(jù)Nasgiken的信息，SC-9200的操作控制可以通過電腦完成，支架具的裝卸、采樣液的供給和回收均能自動進行，從而減少操作員引起的污染。設備外形尺寸為690×550×790mm，重量為55Kg，所需外部資源包括電源(100～240VAC)、純凈水、N2、干潔氣源。
     
    　　應用場景
     
    　　SC-9200微量金屬污染物回收器主要應用于半導體制造過程中，對硅晶片進行表面和側(cè)面的微量金屬污染物分析。該設備適用于需要高精度和高效率分析的環(huán)境，如半導體制造廠、材料研究機構(gòu)等。
     
    　　結(jié)論
     
    　　Nasgiken SC-9200微量金屬污染物回收器以其高效的污染物收集能力、自動化操作和技術，為半導體制造領域提供了一種創(chuàng)新的解決方案。通過減少人為污染和提高分析準確性，SC-9200有助于提高半導體產(chǎn)品的質(zhì)量和可靠性。
     
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